眾合科技參股企業(yè)——新陽(yáng)硅密（上海）半導體技術(shù)有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“新陽(yáng)硅密半導體”），由上海新陽(yáng)半導體材料有限公司與硅密四新半導體技術(shù)（上海）有限公司于2016年4月重組成立。公司注冊資金7800萬(wàn)元，擁有3000平米廠(chǎng)房面積，具備1000平米萬(wàn)級潔凈車(chē)間及業(yè)內領(lǐng)先的半導體電鍍工藝專(zhuān)業(yè)級實(shí)驗室，并創(chuàng )建了行業(yè)領(lǐng)先的半導體晶圓級濕制程電鍍裝備及半導體濕法裝備與化學(xué)藥液一體化工藝服務(wù)平臺。

公司專(zhuān)注于半導體濕法制程電鍍設備及相關(guān)濕法裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售及服務(wù)，主要產(chǎn)品有InnovaSYS單晶圓電鍍設備、CleanSYS批次式清洗刻蝕設備等。

服務(wù)案例：

2  北京有研，整條清洗建線(xiàn)

2  上海新傲，清洗工藝升級改造

2  南京國盛，清洗工藝升級改造

2  浙江金瑞泓，清洗工藝升級改造

2  洛陽(yáng)麥斯克，清洗工藝升級改造

2  46所，清洗工藝升級改造

2  TI CFAB DNS 820.C安裝及設備模組改造

2  TI CFAB DNS 820.L安裝及設備模組改造

2  TI CFAB SCP 9400 安裝及改造

2  TI CFAB（43套）自動(dòng)CO2檢測/滅火系統設計與改造

2  BCD 12濕法設備安裝及改造，包括KAIJO，DNS，SEMITOOL

2  GSMC Akrion/SCP 9400 Pre-Clean濕法設備安裝/改造

2  GSMC Akrion/SCP 9400有機溶劑濕法設備安裝/改造

2  BCD純水加熱系統安裝改造

2  TSMC（9套）Kaijo及DNS自動(dòng)CO2檢測/滅火系統設計與改造

2  SIMBCD 5”升級為6”的整條線(xiàn)濕法設備項目

2  IMECAS 5”升級為6”的整條線(xiàn)濕法設備項目

2  華潤晶芯6”26臺濕法設備工藝交付

2  上海貝嶺6”整條線(xiàn)濕法設備項目

2  SMIC成都（TI）8”線(xiàn)移機項目

2  Tech Semiconductor移機項目

2  TSMC從Atmel（England）移機的濕法設備移機項目

2  臺積電DNS濕法設備SOM改SPM設備模組改造

2  SK Hynix WuXi（4套）自動(dòng)CO2檢測/滅火系統設計與改造

2  中芯FAB1全部E200濕法設備安裝及工藝調試

2  CSMC KAIJO有機溶劑濕法設備兆聲波機加熱器改造

2  SKY SILICON DNS 820.C設備模組改造

2  SMIC 7臺12寸JET BW3000 PRStrip移機及工藝調試項目

2  士蘭3臺12寸JET BW3000 PR Strip翻新機項目

2  GSMC SEMITOOL有機溶劑濕法設備安裝/自動(dòng)CO2滅火系統